在物理气相沉积（PVD）和电离物理气相沉积（IPVD）领域，精确监测沉积通量和电离分数对于优化工艺参数和涂层质量至关重要。瑞典Ionautics公司凭借其lonMeter为这一挑战提供了创新的解决方案。lonMeter基于成熟的石英晶体微天平（QCM）技术，不仅实现了实时监测，还通过一系列独特设计，提升了电离分数监测的准确性和可靠性。

关于lonMeter

lonMeter凭借其独特的传感器设计，能够精确量化沉积通量中的电离分数，这对于深入理解电离机制及优化电离参数至关重要。在加工过程中，它提供实时现场测量功能，使研究人员能够即时调整工艺参数以确保产品质量。为了确保电离分数监测的准确性，lonMeter还配备了高效的磁屏蔽装置，这一设计不仅有效避免了等离子体电子对诊断过程的干扰，同时确保了离子和中性物质的顺利传输，从而提供了更加准确和可靠的电离分数数据。与传统的使用网格的解决方案相比，lonMeter的磁屏蔽装置在阻挡电子方面表现出色，且专注于成膜材料的监测，排除了杂质干扰，使得数据更加可靠。lonMeter的应用范围广泛，涵盖了电离物理气相沉积（IPVD）工艺的多个方面：

●  电离通量分数优化：

通过实时监测电离过程中的关键参数，lonMeter能够帮助用户优化电离通量分数，提高工艺的稳定性和效率。

●  过程稳定性提升

lonMeter能够监测电离过程中的漂移，及时采取措施进行缓解，从而确保涂层质量的一致性和可靠性。

●  涂层参数调整

通过调整电离参数，用户可以利用lonMeter灵活调整涂层的应力、硬度和电导率等关键性能，以满足不同应用场景的需求。

应用优化策略于多个领域：

1.电离物理气相沉积(IPVD)中电离通量分数的优化工艺

2.通过监测和缓解电离过程中的漂移来实现过程稳定

3.通过监测和控制电离来调整涂层参数，如应力、硬度和电导率

4.通过空间映射电离和沉积来优化沉积系统设计

5.系统设计优化，希望它均匀分布在空间中

6.在加工过程中现场优化 PVD 源和磁体组设计

IonMeter产品规格

石英振荡器类型: 6 MHz

频率分辨率: ± 0.01 Hz，10次读数/秒

频率稳定度: 总计± 2 ppm，0°至 50°C 范围内

水晶兑换: 前装式独立包装，方便更换

通讯接口: USB

输入电压：USBC

环境规格：

无水冷时最高工作温度：130°C

最小水冷流量时最高工作温度：400°C

规范：CE 认证

尺寸和安装

传感器尺寸：待定

安装：40CF（法兰），1xBNC-Microdot和2x水

为何选择lonMeter？

lonMeter不仅能够辅助优化电离物理气相沉积工艺中的电离通量分数，稳定工艺过程；还能够通过监测和控制电离来调整涂层参数，满足多样化需求；同时，通过绘制电离和沉积的空间分布图，lonMeter还能够辅助沉积系统布局、PVD源和磁铁组的优化设计，提高沉积效率和涂层质量，为研究人员提供了便利。

lonMeter作为瑞典Ionautics公司提供的创新解决方案，凭借其基于石英晶体微天平（QCM）技术的独特设计和高效磁屏蔽装置，在物理气相沉积（PVD）和电离物理气相沉积（IPVD）领域展现出了卓越的性能。它不仅实现了对沉积通量和电离分数的精确监测，还通过实时监测和现场优化策略，显著提升了工艺参数的优化能力和涂层质量的稳定性。无论是在电离通量分数的优化、过程稳定性的提升，还是在涂层参数的调整、沉积系统设计的优化以及沉积过程中的现场优化方面，lonMeter都展现出了其优势。对于致力于提升PVD和IPVD工艺水平的研究人员和工程师而言，选择lonMeter它将为您的研究和生产工作带来便利和效益。

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